螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國(guó)內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對(duì)清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

各種真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，因此近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國(guó)外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)得以廣泛應(yīng)用。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。中國(guó)企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。

傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開(kāi)有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑，軸承和殼體內(nèi)部通過(guò)密封件來(lái)密封以達(dá)到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。 等螺距螺桿泵由于無(wú)內(nèi)壓縮過(guò)程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽氣效果。冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，水冷是最常見(jiàn)的方法，在機(jī)殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水，可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。