螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)制藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領域得到廣泛應用。

兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以廣泛應用。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應用。

傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。 等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環(huán)節(jié)，水冷是最常見的方法，在機殼本體、軸承外側通冷卻水，可以達到冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。