Advanced Energy 的 OR4000 多通道光纖測溫儀 (OFT) 基于非常成功的 OR2000 產(chǎn)品系列開發(fā)，為眾多溫度測量應用提供了業(yè)界領(lǐng)先的非接觸性溫度測量。 OR4000T 向要求最苛刻的溫度測量應用提供多通道功能和高達 2 kHz 的讀取速率。 OR4000E 還增添了實時輻射率補償功能。 該儀器采用模塊化設(shè)計，能夠快速調(diào)整以滿足各個工藝應用的獨特要求。

提高溫度測量的精度測量

Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多通道光纖測溫儀 (OFT) 以一個緊湊的模塊化平臺提供精確的非接觸式溫度和輻射率測量，旨在滿足各個獨特應用的需求。 AE 的 光纖測溫儀 非常適合在控制最嚴格的應用中測量溫度，這類應用需要保證一致且可重復的溫度讀數(shù)以確保工藝成功。

根據(jù)應用可選擇工藝設(shè)備有：

? OR4000T 用于快速熱處理 (RTP)、激光退火、高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)、金屬有機化學氣相沉積

(MOCVD)、原子層沉積 (ALD)、紫外線硬化、太陽能電池封裝和硬盤 (HDD) 處理。

? OR4000E 用于外延 (Epi)、化學氣相沉積 (CVD)、金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD)以及襯底發(fā)射率發(fā)生變化的其他工藝。

增強重復性并盡量減少偏差

傳統(tǒng)的熱電偶測量方案不適合許多應用領(lǐng)域，由于熱傳遞效應，與基底進行物理接觸會造成損害并導致讀數(shù)不精確。 OR4000T 和 OR4000E 在原位測量直接目標的溫度，與被測量的物體不接觸，可以增強點到點均勻性并提高溫度讀數(shù)的精確度。 

每個 OFT 系統(tǒng)都由一個控制器、一個光學傳感器和多條光纜組成。 傳感器探測目標（一般是襯底）釋放出的近紅外線 (NIR)。 之后光纖將近紅外線光從傳感器傳輸?shù)娇刂破?，傳感器將采集的光轉(zhuǎn)換成溫度讀數(shù)。 使用光纖可以對控制器進行遠程定位，使之處于一個遠離工藝腔室的可控環(huán)境中。

每個傳感器都經(jīng)過定制設(shè)計，以滿足每個獨特應用的功能和機械要求。 結(jié)果實現(xiàn)： 可靠測量、更高重復性和更高 

良品率。  

提高生產(chǎn)率、產(chǎn)額和產(chǎn)量

OR4000T 和 OR4000E 都提供了高速性能，讀取速率高達 2 kHz，可以精確跟蹤快速的溫度變化。  在動態(tài)應用中，這可以實現(xiàn)閉環(huán)溫度控制并優(yōu)化工藝良品率。