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射頻電源產(chǎn)生等離子的原理，是在一個密閉的真空壓力容器內(nèi)，利用真空泵獲得一定的真空度，射頻被饋入到真空室的兩個極板之間。在兩個極板之間產(chǎn)生一個變電場。氣體在電場上被電離，產(chǎn)生相對應(yīng)的離子。帶電離子被加速不斷的碰撞氣體分子產(chǎn)生級聯(lián)效應(yīng)。就這樣產(chǎn)生了輝光，從而產(chǎn)生了等離子體。

射頻電源區(qū)別于其他直流電源，偏壓電源，中頻電源的優(yōu)勢：當交流電源的頻率低于50kHz時，氣體放電的情況與直流時候的相比沒有根本的改變。當頻率超過50kHz以后，放電過程開始出現(xiàn)變化：
1、在兩極之間不斷振蕩運動的電子可從高頻電場中獲得足夠的能量并使得氣體分子電離，而由電離過程產(chǎn)生的二次電子對于維持放電的重要性相對下降；
2、高頻電場可以經(jīng)由其它阻抗耦合進入沉淀室，而不必再要求電極一定要是導(dǎo)體。也可以認為，由于所用電源是射頻的，射頻電流可以通過絕緣體兩面間的電容而流動。

射頻電源的工作原理：
射頻收發(fā)核心電路射頻即Radio Frequency，通?？s寫為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率，頻率范圍從300KHz～30GHz之間。射頻簡稱RF射頻就是射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流，大于10000次的稱為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。

射頻電源是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻范圍（約3KHz～300GHz）內(nèi)、具有一定功率的電源。
射頻電源已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備；LED與太陽能光伏產(chǎn)業(yè)；科學實驗中的等離子體發(fā)生；射頻感應(yīng)加熱；；常壓等離子體消毒清洗等。
深圳市法蘭克自動化設(shè)備有限公司面向未來，公司將以“團結(jié)、求實、創(chuàng)新、”的企業(yè)精神，本著“用戶”的服務(wù)宗旨，不斷開拓創(chuàng)新，以滿足不同用戶的需求，“法蘭克”將一如既往地遵循“尚科學、嚴質(zhì)量、重信譽、創(chuàng)”的企業(yè)宗旨，與您共創(chuàng)新世紀的輝煌。