本公司專業(yè)半導體及光電產業(yè)設備服務供應商，為半導體行業(yè)的黃光工藝段設備提供維修、保養(yǎng)、升級改造、配件供應等技術服務

服務范圍：

半導體設備服務供應商，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

服務優(yōu)勢：

擁有一批專業(yè)技術人才，進口品牌射頻電源資深工程技術支持，消化吸收國外先進技術基礎上創(chuàng)新發(fā)展，鍛煉培養(yǎng)十幾名經驗豐富的維修工程師。擁有自主開發(fā)的專業(yè)配套射頻電源測試平臺，高壓電源測試負載，直流電源測試負載，專用測試儀器設備，以及豐富的圖紙技術資料。

服務品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。

電源維修

專業(yè)維修半導體設備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、

射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等專業(yè)設備維修。

Thermo Chiller維修

溫度控制泵浦，設備冷卻系統(tǒng)，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

2、MKS ENI射頻電源/直流電源

3、DAIHEN射頻電源

4、KYOSAN射頻電源/直流電源

5、COMDEL射頻電源

6、ADTEC射頻電源

7、SEREN射頻電源

二、RF MATCH(射頻電源匹配網絡)

1、AE（Advanced Energy）RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高壓電源

1、HiTek Power supply高壓電源

2、ADVANCE HIVOLT高壓電源

3、Wallis Hivolt(Farnell Hivolt)高壓電源

4、GLASSMAN高壓電源

5、SPELLMAN高壓電源

6、Varian高壓電源

7、其他品牌

四、直流電源

1、LAMDBA ESS/EMI直流電源

2、Delta ELEKTRONIKA直流電源

3、SORENSEN直流電源

4、AMETEK可編程電源

5、POWER TEN直流電源

6、燈絲電源、X射線電源

7、曝光燈電源USHIO（Mercury lamp power supply）

五、微波電源發(fā)生器

1、ASTeX AGL系列微波電源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波電源

3、ASTeX Smart Match

六、RPSC

MKS 2L

MKS 3L

MKS 6L

MKS 8L

MKS 15L

MKS 22L

七、CHILLER溫度控制泵浦

SMC INR-341-16A

SMC INR-498-011

SMC INR-244-215

SMC-INR-244-117A