HR-AFM 是一款專業(yè)級的高分辨率原子力顯微鏡，Z 軸噪音低于35皮米。該設備可以在不破壞樣品內部結構的情況下觀測樣品微區(qū)三維形貌和多相結構；同時可對樣品表面物理化學特性進行研究，數(shù)值測定與分析。

國內生產(chǎn)的HR-AFM原子力顯微鏡

標準工作模式：輕敲模式(Vibration mode)，接觸模式 (Contact mode)，相位成像模式 (Phase imaging)，橫向力模式 (LFM)，力曲線測試（Force Curve），納米操控 （Nanomanipulation），納米刻蝕 （Nanolithography），力矩陣模式 （Force Mapping），摩擦力測試 （Friction Mode）

可選工作模式：導電原子力顯微鏡 （C-AFM），磁力顯微鏡（MFM），靜電力顯微鏡（EFM）,掃描電勢顯微鏡（SKPM）。

設備具有軟件自動進針功能。通過軟件控制Z方向馬達實現(xiàn)探針自動進針。

X,Y,Z三軸分離的掃描器。掃描范圍 100×100×17μm，Z軸分辨率0.035nm。樣品臺尺寸：25mm*25mm*18mm 。

操作軟件：使用Laview環(huán)境語言控制，免費提供操作軟件，并提供終身免費維護及升級。提供Gwyddion IMAGE ANALYSIS SOFTWARE 數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)

頂視系統(tǒng)光學分辨率≤2微米，視場范圍從2mm*2mm到300um*300um可調，放大倍率從45倍到400倍機械可調。

側視系統(tǒng)，提供可視化下針，可以通過電腦觀察控制下針過程，防止撞針。