產(chǎn)品特點(diǎn)

l ?  緊湊式直驅(qū)結(jié)構(gòu)                                                      ?  重復(fù)定位精度±75nm

l ?  抗蠕動(dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌                                        ?  直線度和平面度±0.5μm

l ?  微動(dòng)步距≤20nm                                                       ?  結(jié)構(gòu)、行程可定制

應(yīng)用領(lǐng)域

RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z軸，亞微米級(jí)重復(fù)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、光學(xué)制造和檢測(cè)、光纖對(duì)準(zhǔn)和科研等領(lǐng)域。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

RBN-Z-CG系列精密Z軸側(cè)掛在龍門橫梁上使用，可與其它軸組成多軸系統(tǒng)。直驅(qū)結(jié)構(gòu)，在低速時(shí)保持平穩(wěn)，在高速時(shí)不產(chǎn)生振動(dòng)?？谷鋭?dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌，滾柱間線接觸，比滾珠接觸面積大，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定，該結(jié)構(gòu)可以把Z軸厚度降低，有利于行業(yè)應(yīng)用。

精度性能

非接觸式光柵閉環(huán)反饋，考慮熱膨脹和材料等影響，這種緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，搭配高性能控制系統(tǒng)，獲得高重復(fù)定位精度，重復(fù)定位精度±25nm，直線度和平面度±0.5μm，是高精度場(chǎng)所的理想選擇。

微動(dòng)步距

對(duì)有微動(dòng)步距要求的應(yīng)用領(lǐng)域，如對(duì)準(zhǔn)應(yīng)用，微動(dòng)步距≤20nm，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)使用環(huán)境的要求，更多細(xì)節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。

定制化

根據(jù)應(yīng)用可定制行程、配置大理石基座、立柱、橫梁和隔振臺(tái)等整套系統(tǒng)方案。