純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。陜西瑞茂豐金屬面向全國(guó)市場(chǎng)根據(jù)客戶圖紙加工訂做高純度ta1鈦靶板鈦板靶，產(chǎn)品受到客戶一致好評(píng)。

靶材的主要性能要求:

純度

純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對(duì)靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質(zhì)含量

靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對(duì)不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對(duì)堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結(jié)構(gòu)，晶粒大小可由微米到毫米量級(jí)。對(duì)于同一種靶材，晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

鈦板的特性

1.密度小，比強(qiáng)度高。

2.耐腐蝕性能好

3.耐熱性能好

4.耐低溫性能好

5.抗阻尼性能好

6.無磁性、無毒

7.換熱性能好

8.彈性模量低

陜西瑞茂豐金屬科技有限公司是一家鈦及鈦合金金屬制品的開發(fā)研究、生產(chǎn)制造及銷售為一體的綜合性企業(yè)。公司位于有鈦城美譽(yù)的陜西省寶雞市，具備得天獨(dú)厚的地域、材料、科研優(yōu)勢(shì)，并依托“中國(guó)鈦城”的綜合實(shí)力，進(jìn)行高效的資源共享，為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的鈦及鈦合金產(chǎn)品。

公司主營(yíng)產(chǎn)品：

一、鈦及鈦合金制品

1、鈦環(huán)、鈦棒、鈦板、鈦筒、鈦絲、鈦法蘭、鈦標(biāo)準(zhǔn)件、鈦異型件

2、鈦合金環(huán)、鈦合金棒、鈦合金絲、鈦合金法蘭、鈦合金異型件

 二、 靶材

鈦管靶  鈦圓靶    鈦板靶

二、鈦及鈦合金管件

1、換熱器、盤管

2、彎頭、三通、管、異徑管

公司秉承真誠(chéng)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)信、服務(wù)的文化理念，長(zhǎng)期為客戶提供優(yōu)質(zhì)的ta9鈦板及其他鈦及鈦合金產(chǎn)品。陜西瑞茂豐金屬科技有限公司全體員工愿與各界同仁，共同謀求中國(guó)有色金屬的繁榮昌盛，共同進(jìn)步、共同輝煌。熱烈歡迎各界朋友來函、來訪，洽談合作。

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