從定量分析的觀點(diǎn)來考慮，對光源的要求如下：
1．分析靈敏度高，并能分析痕量、微量元素分析，靈敏度可達(dá)ppm或ppb數(shù)量級。
2．濃度靈敏度高，即當(dāng)分析元素含量C有小的變化時(shí)，相應(yīng)的分析線強(qiáng)度2變化要大，即dI／dc要大。
3．在激發(fā)過程中，光源應(yīng)有良好的穩(wěn)定性和再現(xiàn)性，這是保證分析準(zhǔn)確度的基本要求。
4．基體效應(yīng)小，試料中基體含量變化時(shí)，分析元素的結(jié)果不受基體變化的影響。第三元素的影響，組織結(jié)構(gòu)的影響，試樣形狀和質(zhì)量的影響要小。
5．予燃時(shí)間，曝光時(shí)間(積分)要短，可提高分析效率和分析速度。

直讀光譜儀中有一個(gè)部分激發(fā)光源，它負(fù)責(zé)物質(zhì)的汽化，解離，激發(fā)等幾個(gè)主要過程 ，這些過程非常重要，是衡量元素含量是否準(zhǔn)確的幾個(gè)主要技術(shù)指標(biāo)，如光譜分析的檢出限，精密度和準(zhǔn)確度等，只有放直讀光譜儀的激發(fā)光源做好了，才能得到好的分析結(jié)果。
激發(fā)光源都具有兩個(gè)作用過程。這個(gè)作用就是蒸發(fā)樣品及激發(fā)原子產(chǎn)生光譜。這兩種作用同時(shí)進(jìn)行，共同決定光譜線的強(qiáng)度。試料中元素蒸發(fā)離解，將涉及試樣成分的物理及化學(xué)性質(zhì)。把蒸發(fā)出來的元素原子激發(fā)，自然和光源發(fā)生器的性質(zhì)有關(guān)，更確切地說與發(fā)生器的電學(xué)特性有密切關(guān)系、所以可以說激發(fā)光源決定了光譜分析方法，因此對光源現(xiàn)狀的了解，是光譜工作者需要的。

光譜儀是將復(fù)色光分離成光譜的光學(xué)儀器，又稱分光儀，廣泛為認(rèn)知的為直讀光譜儀。直讀光譜儀所采用的原理是用電弧（或火花）的高溫使樣品中各元素從固態(tài)直接汽化并被激發(fā)而發(fā)射出各元素的特征波長，用光柵分光后，成為按波長排列的“光譜”，這些元素的特征光譜線通過出射狹縫，射入各自的光電倍增管或者是CCD等感應(yīng)器，光信號變成電信號，經(jīng)儀器的控制測量系統(tǒng)將電信號積分并進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換，然后由計(jì)算機(jī)處理，并打印各元素的百分含量。

通常來說，光譜儀有三個(gè)重要組成部分：狹縫（Slit）、色散元件（Dispersive element）、檢測器（Detector）。在光譜儀性能評價(jià)中，重要的評價(jià)指標(biāo)之一便是色散能力（Dispersive power）。
簡單而言，就是色散元件能夠把復(fù)色光分散到多寬的范圍上，光被分散地越寬，光譜儀的分辨率自然越好。
可以看到，焦平面越遠(yuǎn)，刻線越密，色散能力越強(qiáng)，后者受到光柵制作工藝限制，傳統(tǒng)的光譜儀往往在上下功夫，這也是光譜儀做的比較大的原因。
然而，值得注意的是，你把光譜儀的分辨能力提得越高，雖然波長相近的光能夠被區(qū)分地更好，但其代價(jià)就是一定長度的detector上所能展現(xiàn)的光譜范圍變小了，所以，當(dāng)光柵光譜儀發(fā)展到一定階段后，人們發(fā)現(xiàn)重要的問題又出現(xiàn)在了檢測器（detector）這一側(cè)。
檢測器
感光元件是直讀光譜儀的核心，元器件的好壞關(guān)系到精密儀器的精度。直讀光譜儀（OES）的核心元件有三種,一種是廣泛使用的CCD（電荷耦合）元件；另一種是CMOS（互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）器件,還有一種是PMT光電倍增管。
以上的器件都是光譜儀的核心器件，元件的質(zhì)量對光譜儀的種類來說很重要。