美國產(chǎn)Plasma CleaningSystem
PE-25臺式實驗室等離子表面處理機

PE-25小型等離子表面處理設備是專門針對于大學，研究機構(gòu)和工廠研發(fā)機構(gòu)設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計，突出移動方便，多種配置功能和超高性能以及穩(wěn)定性，操作方便的使用特性。

設備特點:

1.體積小，(寬356mm*高368mm*深457mm)，可放置在任何實驗臺上。

2.性能可靠，“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接，電極面積達到89mm*170mm，腔體與電極之間的間隙可到53mm，樣品放置空間大。

3.配置靈活，可配置不同的頻率及功率：50KHz，13.56MHz；控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數(shù)字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。

4.操作簡便，一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

5. 安全保障：在小型設備中，唯一引入一鍵急停保護按鈕，可以快速終止實驗，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。

附件（可選件）

抽氣裝置：推薦型號：5CFM 2級直驅(qū)真空油泵
?氧氣發(fā)生器
?附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
?50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器，13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動阻抗匹配網(wǎng)絡電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
?接枝設備

高級配置：

?PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng)：基于Windows操作系統(tǒng)，裝有等Plasma Etch操作軟件的筆記本電腦，包括全自動系統(tǒng)操作，流程排序，多配方存儲，以及其他高級功能。
?質(zhì)量流量控制器：附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
?氣流減壓裝置。