型號(hào)

PAL100

平行封焊機(jī)

PKG（管殼）

尺寸范圍：（3×3）mm～（100×100）mm（尺寸可定制200mm）

形狀：方形，圓形，正多邊形

焊接參數(shù)

最大焊接功率：6KW

焊接速度：0.1mm/s～30mm/s

焊接壓力：0～1500g

運(yùn)動(dòng)軸

定位精度：0.02mm

管殼旋轉(zhuǎn)角度范圍：360°

焊接氣密性

達(dá)到GJB548B-2005的《微電子器件測(cè)試方法和程序》氣密性的要求

手套箱

操作箱體

箱體尺寸

900mm（高）x 750mm（深）x 1200mm（長(zhǎng))

手套數(shù)量

2個(gè)（可選配3-4個(gè)）

手套尺寸

手套口8英寸，厚度0.4mm丁基手套

硬鋁合金手套口（經(jīng)過(guò)防腐蝕處理），口徑220mm

使用時(shí)可保持一定的正負(fù)壓力

-12mbar-12mbar

箱子帶自動(dòng)補(bǔ)氣和沖洗功能，PLC智能調(diào)控壓力

集成濕度檢測(cè)系統(tǒng)（露點(diǎn)儀檢測(cè)）

集成氧含量檢測(cè)系統(tǒng)（氧傳感器檢測(cè)）

自動(dòng)清洗功能

烘箱和過(guò)度艙

烘箱尺寸

300mm（高）×300mm（寬）×350mm（長(zhǎng)）

托盤(pán)

標(biāo)準(zhǔn)托盤(pán)（三層工作隔板及四層溫區(qū)加熱）

通過(guò)PLC實(shí)現(xiàn)加熱系統(tǒng)的定期充氣，抽氣和沖洗等循環(huán)動(dòng)作的智能控制

補(bǔ)充氣體來(lái)源于箱體內(nèi)部

加熱方式

大艙加熱（加熱板加熱，3-4層）

溫度控制范圍

150℃

溫度控制精度

+/-2℃

溫度分布均勻性

溫度分布差異控制在+/5℃