產(chǎn)品用途:

本機適用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化鉀片及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。

主要特點：

1.          變頻器配合異步電機拖動，實現(xiàn)了軟啟動，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。

2.          采用雙電機同步拖動，太陽輪變速范圍更廣，能適應不同研磨工藝的要求。

3.          太陽輪與內(nèi)齒圈同步抬升，滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。

4.          上下研磨盤采用斜齒輪傳動，提高了運轉平穩(wěn)性。

5.          采用PLC控制，壓力采用電—氣比例閥閉環(huán)反饋控制，壓力等級設定更方便精確，操作簡單易行，工作可靠穩(wěn)定。

6.          本機應用人機界面（PT）采用人機界面終端（NT）顯示與PLC控制，一方面顯示運行參數(shù)，另一方面通過其觸摸鍵調(diào)整設定各項工藝參數(shù)，主操作由普通鍵鈕完成。

7.          造型及內(nèi)部結構充分考慮了可靠性、實用性、互換性和操作和維修的方便性。

主要技術參數(shù)：

1、研磨盤尺寸：                   φ1112mm×φ380mm×50mm

2、游星片參數(shù)：                     公制M=2  Z=212

英制DP12  Z=200                             

3、游星片數(shù)量：                 5片

4、最大研磨直徑：                 φ350mm

5、最小研磨厚度：           0.40mm/φ125mm

6、最大研磨厚度：                 30mm

7、下研盤轉速                     0-50rpm   

8、主電機：             11kW      AC380V     1450rpm變頻調(diào)速 

9、副電機：             1.5kW       AC380V     1400rpm

10、            砂泵參數(shù)：       1/4HP   380V

11、            氣源：                          0.5-0.6MPa

12、            外形尺寸：       2200mm×1600mm×2700mm  

13、             質(zhì)量：          約5600Kg

主機精度：

1.      下研盤端跳：      0.06mm

2.      研磨盤平面度：    0.025mm

3.      太陽輪徑向跳動：  0.08mm

4.      齒圈徑向跳動：    0.15mm

加工精度（四個修正輪修研后）：

1.修正輪修研后平行平面度：    ≤0.004mm

2.加工件平面平行度：          ≤0.0035/φ125mm

加工能力：

1.單片承片量：     17片/φ75mm  8片/φ100mm  5片/φ125mm

2.整盤承片量：     85片/φ75mm  40片/φ100mm  25片/φ125mm