一、設備用途及特點

用途：本雙面研磨機主要用于藍寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學玻璃、石英晶體、其它半導體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光。

特點：1. 創(chuàng)新是設計的基本理念，本設備在設計時認真分析和比較了國內(nèi)外同類設備的結構、控制和功能特點，綜合、歸納并采用了眾多用戶的成功經(jīng)驗和合理建議。著力提高設備的技術含量、運行精度和運行平穩(wěn)性。

2. 采用先進的臺灣產(chǎn)PLC程序控制器，控制整機的動作，自動化程度高，并由與之匹配的大屏幕觸摸屏作界面，顯示當前整機狀態(tài)，實現(xiàn)人機對話，操作一目了然。

3. 采用變頻調(diào)速及全齒輪傳動，使整機工作時起動平穩(wěn)、運轉穩(wěn)定，尤其在低速運轉時，克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現(xiàn)象。

4. 采用亞德克生產(chǎn)的氣動執(zhí)行元件與SMC生產(chǎn)的氣動控制元件配套，實現(xiàn)研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調(diào)節(jié)，為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。

5. 大齒圈可以升降，且升降位置可以調(diào)節(jié)。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數(shù)量進行調(diào)節(jié)。

6. 減速機用杭州杰牌的，型號是150-20與075-30。

7. 采用雙電機和雙變頻驅動；產(chǎn)地是無錫亨達高溫變頻電機。主電機（9KW/1440rpm）帶動上、下研磨盤和齒圈；用副電機（1.5KW/1400rpm）帶動太陽輪。副電機與主電機按比例同步調(diào)速。

8. 配備有自動潤滑裝備，對齒輪進行潤滑。

9. 本設備可設定和存儲二十套不同的工藝參數(shù)（壓力、速度、時間、圈數(shù)）供使用者選用。

10. 配有主氣缸端鎖機構，可方便、安全鎖定上研磨盤。

 主要技術參數(shù)

1）研磨盤規(guī)格：上盤Φ965×Φ385×45mm  下盤Φ965×Φ385×35mm  

2）行星輪規(guī)格:Dp12 Z=152 a=20° （外徑：Φ325.96）  

3）放置行星輪個數(shù)n 3≤n≤6

4）研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm

5）研磨工件理想規(guī)格: Φ150   最大工件規(guī)格：對角線300mm

6）齒圈升降高度:35mm

7）下研磨盤轉速: 0-50r

8）主氣缸: Φ125×450mm

9）升降氣缸: Φ80×250mm

10）端鎖氣缸: Φ32×15mm

11）主電機:YVP132M-4  9KW

12）副電機: YVP90L-4  1.5KW

13）砂泵電機: AB-100  250   

14）設備外形尺寸：1700×1350×2650mm

1700×1350×2650mm

15）設備重量：3100Kg

3100Kg

主機精度：

下拋光盤端面跳動：0.05mm

上下拋光盤平面度：0.02mm

太陽輪徑向跳動：0.06mm

齒圈徑向跳動：0.12mm

加工精度：

修正輪修研后平面度，平行度0.003mm

加工件平面度，平行度：0.002mm

加工能力：

單片承片量   8片/φ75mm   5片/φ100mm

整盤承片量   48片/φ75mm   30片/φ100mm